اعضای VIP
میکروسکوپ الکترونی پرتاب با وضوح فوق العاده بالا سری SU8600
با پیشرفت سریع جمع آوری داده ها و تکنولوژی پردازش داده ها، میکروسکوپ الکترونیکی وارد عصر است که نه تنها به کیفیت داده ها بلکه به فرآیند جمع آوری آنها
جزئیات محصولات
میکروسکوپ الکترونی پرتاب با وضوح فوق العاده بالا سری SU8600
با پیشرفت سریع جمع آوری داده ها و تکنولوژی پردازش داده ها، میکروسکوپ الکترونیکی وارد عصر است که نه تنها به کیفیت داده ها بلکه به فرآیند جمع آوری آنها اهمیت می دهد. سری SU8600 با تکنولوژی تصویربرداری میدان سرد با کیفیت بالا، تجزیه و تحلیل جریان پرتو بزرگ و عملکرد پایدار طولانی مدت از سری Regulus 8200، در حالی که به طور قابل توجهی توانایی دسترسی خودکار داده های بالا را بهبود می بخشد.
- *
- عکس دستگاه شامل گزینه ها است.
-
ویژگی ها
-
مشخصات
ویژگی ها
ویژگی ها
تصویربرداری با وضوح فوق العاده بالا
منبع الکترونیکی با روشنایی بالا هیتاچی حتی در ولتاژ فرود بسیار پایین، تصویر با وضوح فوق العاده بالا را تضمین می کند.
نمونه ای از زیولیت RHO در شرایط ولتاژ 0.8 کیلو ولت مشاهده می شود. تصویر چپ شکل کل ذرات است، تصویر راست تصویر بزرگ شده است، ساختار مرحله ای ظریف سطح ذرات به وضوح قابل مشاهده است. مشاهده ولتاژ پایین برای کاهش آسیب های پرتو الکترونی و بدست آوردن اطلاعات شکل سطح موثر است.
نمونه ارائه شده توسط: آقای کادا اومورا، موسسه جامع فناوری صنعتی ژاپن
تصویر پشت پراکندگی ولتاژ شتاب پایین با پوشش بالا
مشاهده 3D NAND
در شرایط ولتاژ شتاب پایین، سیگنال الکترونیکی پشت پخش می تواند به طور واضح تفاوت پوشش لایه اکسید سیلیکون و لایه نیترید سیلیکون را نشان دهد.
مشاهده قطعه 3D NAND (ولتاژ شتاب: 1.5kV)
تصاویر سریع BSE: آشکارساز الکترونی پشت پراکنده (OCD)*
با استفاده از آشکارسازهای جدید OCD، حتی اگر زمان اسکن کمتر از یک ثانیه باشد، تصاویر واضح ساختار عمیق Fin-FET مشاهده می شود.
مشاهده ساختار داخلی SRAM فرآیند 5 نانومتری (ولتاژ شتاب: 30kV، زمان اسکن <1 ثانیه)
قابلیت های پیشرفته اتوماسیون*
EM Flow Creator به مشتریان اجازه می دهد تا جریان کاری خودکار برای جمع آوری تصاویر مداوم ایجاد کنند. EM Flow Creator قابلیت های مختلف SEM را به عنوان ماژول های گرافیکی تعریف می کند، مانند تنظیم بزرگکاری، حرکت موقعیت نمونه، تنظیم فاصله تمرکزی و کنتراست روشن و تاریک. کاربران می توانند این ماژول ها را به ترتیب منطقی به یک برنامه کاری بکشند. پس از اشکال زدایی و تایید، این برنامه می تواند به طور خودکار داده های تصویری با کیفیت بالا و قابل تکرار را در هر تماس دریافت کند.
رابط کاربری انعطاف پذیر
پشتیبانی از صفحه نمایش دوگانه برای فراهم کردن فضای عملیاتی انعطاف پذیر و کارآمد. 6 کانال به طور همزمان نمایش و ذخیره می شود تا مشاهده و جمع آوری سریع چند سیگنال را به دست آورد.
سیگنال های 1، 2، 4 یا 6 کانال می توانند همزمان بر روی یک صفحه نمایش نمایش داده شوند که شامل آشکارسازهای SEM و دوربین اتاق نمونه و دوربین ناوبری می شود. فضای کاری را می توان با استفاده از دو مانیتور گسترش داد و رابط کاربری را می توان برای بهبود بهره وری کار سفارشی کرد.
مشخصات
| مدل | سری SU8600 | |
|---|---|---|
| سیستم نوری الکترونیکی | وضوح الکترونیکی دوم | 0.6 nm@15 kV |
| 0.7 nm@1 kV * | ||
| بزرگ‌سازی | 20 to 2,000,000 x | |
| اسلحه الکترونیکی | منبع الکترونیکی انتشار میدان سرد، پشتیبانی از قابلیت فلاش انعطاف پذیر، شامل سیستم پختن آنود. | |
| ولتاژ شتاب دهنده | 0.5 to 30 kV | |
| ولتاژ فرود | 0.01 to 20 kV | |
| آشکارسازهای | (بخشی از گزینه) | آشکارساز بالا (UD) |
| فیلتر انرژی UD ExB با ترکیب سیگنال SE/BSE | ||
| آشکارساز پایین (LD) | ||
| آشکارساز بالا (TD) | ||
| فیلتر انرژی TD | ||
| آشکارساز الکترونی پشت پراکنده در آینه (IMD) | ||
| آشکارسازهای الکترونیکی پراکندگی عقب نیمه هادی (PD-BSED) | ||
| تشخیص دهنده الکترونی پشت پراکنده (OCD) | ||
| آشکارسازهای فلورسنت کاتودی (CLD) | ||
| آشکارساز انتقال اسکن (STEM Detector) | ||
| لوازم جانبی | (بخشی از گزینه) | دوربین ناوبری، دوربین اتاق نمونه، طیف سنج انرژی اشعه ایکس (EDS)، آشکارساز انحراف الکترونی پراکنده عقب (EBSD) |
| نرم افزار | (بخشی از گزینه) | EM Flow Creator، HD Capture (حداکثر 40,960 × 30,720 پیکسل) |
| نمونه | محور محرک موتور | موتور 5 محور (X/Y/R/Z/T) |
| محور محرک موتور | X：0~110 mm | |
| Y：0~110 mm | ||
| Z：1.5~40 mm | ||
| T：-5~70° | ||
| R：360° | ||
| اتاق نمونه | اندازه نمونه | حداکثر قطر: 150 میلی متر |
- *
- در حالت کاهش سرعت
دسته بندی محصولات مرتبط
- سیستم پرتو یون متمرکز (FIB/FIB-SEM)
- دستگاه پیش پردازش نمونه TEM/SEM
بازجویی آنلاین
-
Contacts
-
شرکت
-
تلفن
-
ایمیل
-
WeChatCity name (optional, probably does not need a translation)
-
رمز بررسی
-
محتوای پیام
-