سیلان محصولات جدید مهم است که به طور گسترده ای در صفحه نمایش صفحه تخت LCD، نیمه هادی، انرژی خورشیدی و غیره استفاده می شود، با توسعه نیمه هادی چین و غیره، تقاضای داخلی برای سیلان افزایش می یابد، اما با توجه به اینکه تولید سیلان داخلی در مرحله آغازی فناوری است، چگونگی تجزیه و تحلیل خلوص سیلان یک موضوع است که تولید کنندگان مختلف باید با آن روبرو شوند.
تجزیه و تحلیل گازهای خالص یک فرآیند پیچیده است و یکی از مشکلات تجزیه و تحلیل کروماتوگرافی است. سیلان به دلیل ویژگی های فیزیکی خود، سختی تجزیه و تحلیل آن می تواند سخت تر شود، نه تنها نیاز به آشکارسازهای حساس بالا، بلکه برای حل مشکل سوختن اکسیژن سیلان.GC-9560-HG کروماتومتر گاز یونی هلیومغلبه بر بسیاری از مشکلات فنی در فرآیند تجزیه و تحلیل سیلان، استفاده از آشکارساز یونیزه هلیوم با حساسیت بالا، مجهز به سیستم نمونه گیری اختصاصی سیلان، به خوبی تکمیل تجزیه و تحلیل ناخالصی های درجه ppb در سیلان.

استانداردهای قابل اجرا:

• GB/T 15909-2009 گازهای صنعتی الکترونیک

GC-9560-HG کروماتوگراف فاز تحلیل سیلانی هیلیوم یونیزه شدهبرای تشخیص ناخالصی های ردیابی در گازهای خالص بالا و گازهای صنعتی الکترونیک، غلظت آزمایش کوچک zui می تواند تا 5ppb باشد. ابزار مجهز به آشکارساز یونیزه هلیوم حساس بالا، با استفاده از فناوری برش مرکزی شرکت Huaei *، دریچه های نمونه ورودی مجهز به دریچه های وارداتی با مسیر حفاظت از هوا؛ کل ماشین با استفاده از جعبه چند ستون طراحی شده است، ستون های مختلف کروماتوگرافی می توانند به طور جداگانه دما را کنترل کنند، zui به حداکثر شرایط جداسازی را بهینه می کند، و برای درمان جداگانه ستون های مختلف کروماتوگرافی، نگهداری و نگهداری ابزار آسان است. این ابزار مجهز به سیستم اصلاح خودکار فشار نمونه، غلبه بر خطای تجزیه و تحلیل ناشی از مقدار نمونه ورود گازهای مختلف به دلیل وزن مولکولی متفاوت است.

یک،GC-9560-HG کروماتوگراف فاز تحلیل سیلانی هیلیوم یونیزه شدهمزایای عملکرد:
صنعت گاز صنعت پایه اقتصاد ملی است و "خون" تولید صنعتی است و با توسعه سریع اقتصاد ملی، تقاضا برای گازهای خالص و الکترونیکی نیز به سرعت افزایش می یابد. تشخیص ناخالصی های ردیابی بخش کلیدی تولید گاز با خلوص بالا و گاز صنعتی الکترونیک است، در حالی که تجزیه و تحلیل ناخالصی های ردیابی همواره مشکل تجزیه و تحلیل کروماتوگرافی بوده است، آشکارسازهای کروماتوگرافی مانند هدایت حرارتی سنتی قادر به تجزیه و تحلیل گاز با خلوص بالا نیستند.
آشکارساز یونیزاسیون هلیوم تخلیه پالس (PDHID) یک آشکارساز عمومی با حساسیت بسیار بالا است که پاسخ بالایی به تقریباً تمام ترکیبات غیر ارگانیک و ارگانیک دارد و به ویژه برای تجزیه و تحلیل گازهای خالص بالا مناسب است. استاندارد ملی جدید تعیین شده است که استفاده از آشکارسازهای یونیزه شده هلیوم برای جایگزینی آشکارسازهای اصلی مانند هدایت گرمایی، کروماتوگرافی هوایی وظیفه اصلی تهیه استاندارد ملی "تحلیل گاز کروماتوگرافی گاز یونیزه شده هلیوم" نیز در حال توسعه است و به زودی به طور رسمی اعلام خواهد شد.

محدودیت تشخیص ناآلودگی های گاز در سیلان (ppb)

دوم،GC-9560-HGپیکربندی سیستم:

(1) GC-9560-HG کروماتومتر گاز یونیزه هلیوم (2) آشکارساز یونیزه هلیوم (PDHID)

(3) سیستم برش مرکزی (4) سیستم نمونه گیری گاز الکترونیکی

(5) سیستم جذب و کاهش اکسیژن (6) تصفیه کننده هلیوم

(7) دریچه کاهش فشار مخصوص حمل گاز (8) دریچه نمونه گیری مخصوص حجم بدون مرگ
(9) فیلتر گاز حمل کننده (10) فیلتر نمونه

(11) ستون کروماتوگرافی (12) گاز استاندارد
(13) هلیوم خالص بالا (خلوص> 99.999٪) (14) GC-9560V4.0 نسخه ضد کراموگرافی کنترل

• تکنولوژی برش مرکزی برای تجزیه و تحلیل کامل گاز:
  GC-9560-HG کروماتومتر گاز یونی هلیوم با استفاده از تکنولوژی برش مرکزی و ضد دمیدن چند ستون، این سیستم از چندین دریچه ده راه و کروماتومتر چند ریشه ای تشکیل شده است که به طور خودکار فرآیندهای نمونه گیری، سوئیچ، برش و ضد دمیدن را از طریق برنامه های زمانی تنظیم شده در ایستگاه کار کنترل می کند.

• دریچه ده طرفه ای
  GC-9560-HGمجهز به اصلی واردات VICI تولید شده با مسیر حفاظت از هوا دریچه ده راه، سطح دریچه همیشه در اتمسفر حمل گاز، جلوگیری از نفوذ هوا به نمونه و تغییر، به شدت افزایش حساسیت تشخیص و دقت.
• تکنولوژی ستون های کروماتوگرافی با پردازش ویژه
  (1) لوله ستون کروماتیک از فولاد ضد زنگ 316L استفاده می کند و دیوار داخلی لوله تحت درمان غیرفعال قرار می گیرد تا از مشکلات جذب و مونوکسید کربن جلوگیری شود.
  (2) حمل کننده ستون کروماتوگرافی تحت درمان ویژه است تا از ایجاد مشکلات مانند جذب اکسیژن جلوگیری شود
  (3) ستون پیش از برش با استفاده از کروماتوگرافی هوایی برای دستیابی به فناوری ستون پر کننده کوچک کشور، به طور کامل بهبود جداسازی نمونه، با توجه به جداسازی، ثبات و سریع

• سیستم جداسازی چند ستون
  نمونه های گاز دارای انواع متنوعی هستند، در حالی که انواع ناخالصی زیادی وجود دارد، نیاز به اتصال چندین ستون کروماتیک مختلف برای تکمیل جداسازی تمام ناخالصی ها در نمونه های گاز دارد. از آنجا که دمای کار مناسب برای ستون های کروماتوگرافی مختلف متفاوت است، یافتن دمای کار مناسب برای ستون های کروماتوگرافی مختلف در یک جعبه ستون دشوار است. GC-9560-HG با استفاده از یک جعبه چند ستون طراحی شده است که به طور موثر مشکلات ستون های مختلف کروماتوگرافی را که نیاز به دمای کاری متفاوت دارند، حل می کند.
  در نگهداری روزانه ابزار، از آنجا که دمای فعال سازی ستون های کروماتوگرافی حمل کننده های مختلف مانند شبکه مولکولی 5A متفاوت است، اگر پیری در همان جعبه ستون نیاز به جدا کردن ستون های کروماتوگرافی که در برابر دمای بالا تحمل نمی کنند و سپس به طور جداگانه فعال می شوند. طراحی جعبه چند ستون GC-9560-HG می تواند به طور موثر مشکلات فوق را حل کند، ستون های مختلف کروماتوگرافی می توانند به طور جداگانه در جعبه های مختلف فعال شوند، برای جلوگیری از مشکل جداسازی ستون های کروماتوگرافی در تعمیر و نگهداری روزانه ابزار.
• تصفیه کننده هلیوم HP-2:
  GC-9560-HGبا استفاده از هلیوم خالص بالا به عنوان گاز حمل کننده، خلوص هلیوم به طور مستقیم بر حساسیت تشخیص کل ابزار به آلودگی تاثیر می گذارد. آزمایش نشان می دهد که خلوص گاز حامل مورد استفاده برای تجزیه و تحلیل گاز خالص بالا حداقل یک درجه مقداری بالاتر از خلوص اساسی نمونه گاز است.
  تصفیه کننده هلیوم نوع HP-2 یک تصفیه کننده گاز تخصصی تولید شده توسط شرکت VICI است. ماتریس تصفیه کننده آن یک آلیاژ جذب غیر فرار است. سطح ذرات جذب کننده دارای یک لایه اکسید است که باید از طریق گرمایش فعال شود. فرآیند فعال سازی باید در محیط خلاء یا گاز بیکار انجام شود. این اجازه می دهد که هلیوم آزادانه در بین آنها گسترش یابد و از تشکیل لایه تصفیه کننده اکسیژن جلوگیری کند و می تواند جذب گازهای ناخالصی را انجام دهد. مواد جذب کننده HP دارای ثبات حرارتی خوب است که شامل دو محدوده کنترل دما است.
  گازهای تصفیه پذیر: He، Ar، Ne، Kr، Xe، Rn
  فشار عملیاتی: 1000psi
  حذف گاز: H₂、 O₂、 N₂、 CO、CO₂、 CH₄、 H₂O、NO、NH₃、 CF₄صبر کن
  غلظت باقیمانده: ≤10ppb
• سیستم اصلاح فشار
  کروماتومتر سنتی از روش کنترل جریان در خروجی دریچه نمونه گیری برای کنترل حجم نمونه گیری داخل لوله کمی استفاده می کند، آزمایش نشان می دهد که این روش خطای تحلیلی زیادی دارد.
  به عنوان مثال، هیدروژن خالص بالا را تحلیل کنید: گاز استاندارد شش ناخالصی در هلیوم است، در حالی که گاز نمونه شش ناخالصی در هیدروژن است. از آنجا که وزن مولکولی هلیوم و هیدروژن متفاوت است، مقدار نمونه در جریان یکسان * نیست.
  GC-9560-HGمجهز به سیستم اصلاح فشار، غلبه بر مشکلات ناشی از اندازه نمونه گیری به دلیل متفاوت گاز پایین، اطمینان از دقت داده ها.
• دریچه نمونه گیری بدون حجم مرده
  GC-9560-HG مجهز به دریچه نمونه گیری اختصاصی بدون حجم مرده است، با استفاده از روش نمونه گیری با حفاظت از پاک کردن، به طور موثر از مسئله باقیماندگی هوا جلوگیری می کند و تاثیر فرآیند نمونه گیری را بر تجزیه و تحلیل به سطح پایین می رساند.
• دریچه های کاهش فشار مخصوص حمل گاز
  دریچه کاهش فشار معمولی به دلیل وجود حجم مرده زیاد، به طور مستقیم بر خلوص گاز حمل کننده پس از خروجی دریچه کاهش فشار تاثیر می گذارد، که باعث می شود غلظت ناخالصی های پایه در گاز حمل کننده بسیار بالا باشد و در نتیجه بر محدودیت تشخیص کل سیستم تاثیر می گذارد.
  GC-9560-HG کروماتومتر گاز یونی هلیوم مجهز به دریچه کاهش فشار فولاد ضد زنگ کامل با عملکرد تنظیم فشار دو درجه است که ثبات فشار را به طور قابل توجهی بهبود می بخشد، ثبات خط پایه را تضمین می کند، در حالی که حجم مرده در بدن دریچه را کاهش می دهد و حساسیت تشخیص را بهبود می بخشد.

GC-9560-HGنمودار تحلیل اثرات: