| |
| در بسیاری از کاربردهای گاز فوق العاده خالص مانند صنعت نیمه هادی، رطوبت باقی مانده در گاز برای عملکرد صحیح فرآیند بسیار مهم است. اندازه گیری مداوم رطوبت یک مشکل است و نیاز به تجزیه و تحلیل رطوبت پیچیده یا تکنیک های تجزیه و تحلیل گران قیمت دارد. با این حال، در حال حاضر، ابزارهای میسلر یک راه حل ساده، اقتصادی و نسبتا موثر برای اندازه گیری نقطه عرش آنلاین با محدودیت پایین تا -120 درجه سانتیگراد (معادل کمتر از 1 ppb) را در بازار ارائه می دهند.وی) فرستنده Pura بر اساس سالها تجربه حرفه ای در تولید و بررسی سنسورهای نقطه شور امپدانس، با ترکیب مواد صنعتی استاندارد و فرآیندهای تولید، اولین فرستنده پایین قیمت برای صنعت تولید نیمه هادی و کاربردهای گاز فوق خالص ساخته شده است.
برجسته کردن
- محدودیت پایین اندازه گیری -120 درجه سانتیگراد (1 ppb)وی)
- اندازه گیری پایدار و تکرار خوبی
- دستگاه نمونه گیری بسیار یکپارچه
- خروجی آنالوگ و دیجیتال
- نصب آسان
- رابط پروسه VCR
- طراحی کوچک و جمع و جور
- واحد نمایش/هشدار اختیاری
|
 |
شاخص های فنی
|
| سنسورها |
| نوع سنسور |
سنسور رطوبت سرامیکی |
| اندازه گیری |
-120 تا -40 درجه سانتیگراد (بررسی تا -100 تا -40 درجه سانتیگراد) |
| دقت |
± 1 درجه سانتیگراد -40 ~ -60 درجه سانتیگراد؛ ± 2 ° C -61 ~ -100 ° C؛ ±4 درجه سانتیگراد -101 ~ -120 درجه سانتیگراد (تخمین زده شده) |
| وضوح |
0.1 درجه سانتیگراد -40 ~ -79.9 درجه سانتیگراد؛ 1 درجه سانتیگراد -80 ~ -100 درجه سانتیگراد؛ 1 ~ 3 درجه سانتیگراد -100 ~ -120 درجه سانتیگراد |
| فشار |
حداقل 10-9 تور حداکثر 24 MPa |
| جریان گاز |
1 ~ 5 Nl / دقیقه |
| برق |
| منبع برق |
معمولاً 24 ولت DC، حداقل 10 ولت تا حداکثر 28 ولت، حداکثر جریان 25 mA |
| خروجی |
خروجی 4-20 mA، محدوده قابل تنظیم توسط نرم افزار اختصاصی، محدوده تنظیم از 1 تا 80 درجه سانتیگراد (در دسترس استاندارد) حداکثر بار = 100 Ω + 50 Ω x (منبع قدرت V -8) |
| خروجی وضعیت خطا |
اطلاعات خطای خروجی استاندارد زیر است: 23 mA = خرابی سنسور 20 mA = بیش از حد بالا 4 mA = حد پایین |
| ویژگی های مکانیکی |
| دریچه سنسور |
فولاد ضد زنگ، پالش داخلی 0.1-0.2 Ra µm |
| پورت اتصال هوایی |
مدل Premium یا OEM: رابط VCR ¼' m نوع Pura Sensor: رابط VCR ½' m |
| پیکربندی نصب |
مدل Premium یا OEM: طول 120.00 میلی متر، مهر و موم پایان بندر راه هوایی. بدون نیاز به تخلیه لوله دو سوراخ نصب M4 x 0.7، عمق 7 میلی متر در پایه با فاصله عمودی 20 x 20 میلی متر نوع Pura Sensor: برای استفاده در پورت ½' VCR ارائه شده توسط کاربر |
| اندازه |
مدل Premium یا OEM: 120 x 35 x 150 میلی متر سنسور Pura 型: 132 × 35 میلی متر |
| وزن |
مدل Premium یا OEM: 450 گرم سنسور Pura 型: 180 گرم |
| بسته بندی |
Pura: بسته بندی دو لایه، مهر و موم پر کردن گاز بیکار Pura OEM یا Pura Sensor: بسته بندی تک لایه تمام لوازم جانبی انتخابی: حمل و نقل بسته بندی مستقل نوع سنسور دارای پوشش حفاظتی در انتهای تراشه سنسور برای حمل و نقل و عملیات است |
|
|
|
|
|
|