اسپکتروگرافی جرم پلازما با اتصال اندکتیو (ICP-MS) یک نوع جدید از تجزیه و تحلیل عناصر غیر ارگانیک و ایزوتوپ است که به سرعت تقریبا همه عناصر جدول دوره را به طور همزمان تشخیص می دهد. تکنولوژی ICP-MS در توانایی تجزیه و تحلیل، بیش از مجموع تکنولوژی های تجزیه و تحلیل غیر ارگانیک سنتی مانند تکنولوژی طیف پلازما متصل به انگیزه (ICPAES) ، جذب اتم کوره گرافیت (GFAAS) و تکنولوژی جذب اتم سرد جیوه (CVAAS) است و به عنوان هیجان انگیزترین توسعه در تکنولوژی تجزیه و تحلیل معاصر شناخته می شود.

زمینه های کاربردی فناوری Agilent ICP-MS عبارتند از:
• تجزیه و تحلیل نمونه های محیط زیست، از جمله آب شیر، آب سطحی، آب های زیرزمینی، آب دریا و انواع خاک، زباله و غیره؛
• تجزیه و تحلیل مواد نیمه هادی
• تجزیه و تحلیل نمونه هایی مانند شیشه، سرامیک و معدن؛
• تحقیقات زمین شناسی؛
• تحقیقات بالینی مواد غذایی و دارویی؛
• تجزیه و تحلیل مواد هسته ای
• تجزیه و تحلیل نمونه های پتروشیمی؛
• تحقیقات و کاربردهای قانونی؛
اخیرا، با استفاده از تکنولوژی جداسازی برای سمیت محیط زیست، علوم زندگی و غیره، تحلیل قیمت عناصر و مورفولوژی به یک تمرکز کاربرد تکنولوژی ICP-MS تبدیل شده است.
ویژگی های تحلیلی ICP-MS:
تشخیص سریع تقریبا همه عناصر جدول دوره ای
حداقل محدودیت تشخیص (پایین تا سطح ppq)
تحلیل بهترین نسبت بهره/هزینه
گسترده ترین محدوده پویا خطی - تشخیص مستقیم غلظت از ppq تا صدها ppm
ساده ترین خط طیف، کمترین تداخل، دقت و دقت خوب
نیاز به حجم نمونه بسیار کم (ul تا ml) و سرعت تجزیه و تحلیل بسیار سریع (1 تا 3 دقیقه / نمونه)
• انعطاف پذیری الگوهای تشخیص
تجزیه و تحلیل مواد آلوده در صنعت نیمه هادی:
جامد: Si؛ GaAa تک کریستال برش؛ مواد کوارتز و کربید سیلیکون؛ الکترود فلزی خالص و غیره
مایع: آب فوق العاده خالص؛ HF;HNO3; HCI; H2SO4; H2O2; آمونیاک و غیره
گاز: SiH4 TE0S; NF3; N2 و غیره
Agilent ICP-MS به طور مستقیم نمونه های ارگانیک را تجزیه و تحلیل می کند:
تکنولوژی پلاسمای سه سرد با عملکرد بالا و قدرت بالا Agilent ICP-MS برای اندازه گیری عناصر ردیاب آلودگی در سطح ppt در مجموعه ای از نمونه های ارگانیک استفاده شده است.
برای برخی از این نمونه ها، روش های دیگر نتیجه های رضایت بخش را به دست نمی آورند، تکنولوژی پلازما مسدود با قدرت بالا تنها روش تجزیه و تحلیل است.
مواد تمیز کننده قوی قلیایی (TMAH)
حلال های ارگانیک رایج - تورفن، دی تورفن، IPA و غیره
نمونه های ماتریک بالا - مواد تمیز کننده بسیار فرار مانند چسب، کریستال مایع، BPSG، PSG - استون، متانول و غیره.