نمایش کلی

مشابه استاندارد STACIS Quiet Island، این نسخه جمع و جور لغو لرزش فعال کف زیر هرتز را برای ابزارهای بزرگ که معمولاً بیش از 1134 کیلوگرم وزن دارند، فراهم می کند.

در حالی که جزیره آرام استاندارد نیاز به یک کف یا سوراخ بالا با عمق حداقل 380 میلی متر (15 اینچ) دارد ، جزیره آرام جمع و جور از عایق کننده های کم پروفایل STACIS IIIc و پلتفرم های جیبی سفارشی برای مطابقت با ارتفاع کف بالا تا 200 میلی متر (7.86 اینچ) استفاده می کند.

تصاویر زیر مقایسه ارتفاع بین ارتفاع استاندارد و Compact Quiet Island را نشان می دهد.

برای سفارش

به دلیل پیچیدگی، حساسیت و ارزش تجهیزات نصب شده در سیستم عامل های Quiet Island® ما، ما شماره های کاتالوگ استاندارد را برای سفارش نگه نمی داریم. ما هر نصب را یک راه حل مهندسی سفارشی در نظر می گیریم. روش توصیه شده برای سفارش به شرح زیر است:

به ما بگویید که چه تجهیزات یا ابزاری را می خواهید جدا کنید. به دلیل پایه نصب شده ما، احتمالاً ما قبلاً یک طراحی پلتفرم را مطابق با الزامات برنامه شما طراحی کرده ایم. علاوه بر این، ما تماس نزدیک با Stepper، Aligner، SEM و سایر تولید کنندگان ابزار را حفظ می کنیم تا اندازه، شکل، تغییرات وزن و مشخصات لرزش کف را حفظ کنیم.

داده های لرزش کف را به ما ارائه دهید یا با ما در مورد چگونگی ترتیب دادن این داده ها بحث کنید.