خلاصه پلتفرم عایق ارتعاش فعال

STACIS ® III یک سیستم عایق انعطاف پذیر فعال است. سیستم عامل عایق لرزش فعال STACIS از سنسورهای پیشرفته لرزش خنثی، الگوریتم های پیشرفته کنترل و آکتورهای پیسوالکتریکی استفاده می کند تا حرکت زمین را با اندازه گیری مداوم فعالیت زمین و سپس گسترش و انقباض آکتورهای پیسوالکتریکی برای حذف لرزش در زمان واقعی فیلتر کند.

STACIS ** در ابتدا برای جدا کردن تجهیزات دقیق میکروگرافی، اندازه گیری و تشخیص در کارخانه های پیشرفته نیمه هادی طراحی شده است و اکنون به عنوان یک راه حل استاندارد صنعتی برای ابزارهای حساس ** در محیط های پر سر و صدا (از جمله اما نه محدود به کارخانه های نیمه هادی، آزمایشگاه های تجزیه و تحلیل خرابی، تحقیقات نانوفناوری، تاسیسات تولید نانو و مراکز تحقیقات مواد) تبدیل شده است.

سیستم عامل عایق ارتعاش فعال STACIS III شامل یک کنترلر دیجیتال پیشرفته کاملا جدید DC-2020 است. این سیستم کنترل جدید با پردازنده دو هسته ای جدید، اترنت و پورت سریال USB در پنل جلو و عقب، رابط گرافیکی کاربر (GUI) مدرن و آسان را برای کاربران فراهم می کند. با صدها مورد موفق نصب در سراسر جهان، STACIS یک سیستم عایق لرزش ایده آل برای ابزارهای حساس به لرزش است.

مزایای سیستم عامل عایق ارتعاش فعال STACIS III

STACIS صدها برابر سخت تر از عایق هوایی است و هیچ محدودیت سیستم عایق هوایی وجود ندارد. بدون تعلیق "نرم" است و برخلاف سیستم های هوایی فعال، STACIS می تواند زیر ابزار با سیستم عایق هوایی فعال داخلی قرار گیرد تا هر دو سیستم در حالت ** کار کنند.

طراحی سریال منحصر به فرد و فناوری پیسوالکتریکی اختصاصی با قدرت بالا، پهنای باند فعال 0.6 هرتز *** 150 هرتز و عملکرد عایق فعال *** 90٪ کاهش لرزش از 2 هرتز را به دست می آورد.

ویژگی های سیستم عامل عایق ارتعاش فعال STACIS III

▪ ** کنترلر دیجیتال DC-2020 با رابط کاربری گرافیکی آسان

▪ جداسازی در 0.6 هرتز شروع می شود و در 1 هرتز به 40٪ *** 70٪ میزان جداسازی می رسد

▪ در فرکانس 2 هرتز و بالاتر، عایق ارتعاش عمودی و افقی بیش از 90 درصد است.

▪ کاهش نیازهای زیرساخت ها و هزینه های ساخت و ساز، حتی با تجهیزات لرزش خارجی بزرگتر

▪ محدوده عایق موثر، 0.6Hz تا 150Hz

▪ پذیرش و تایید گسترده توسط بسیاری از کاربران

▪ نصب سخت 6 جهت بدون نیاز به تعلیق هوایی

▪ سیستم کنترل قدرتمند بدون نیاز به کالیبراسیون مجدد به طور منظم

▪ طرح طراحی نقطه استفاده سازگار با سیستم های عایق ارتعاش موجود مشتری

▪ با تغییر محیط خارجی، سیستم به طور خودکار تنظیم می شود تا با شرایط مختلف لرزش خارجی سازگار شود.

▪ استاسیس TMC ® تکنولوژی استفاده از عملگر پیسو الکتریکی

▪ کنترلر دیجیتال و رابط کاربری گرافیکی مبتنی بر PC (GUI)

▪ افزایش تولید، کیفیت و نرخ محصولات مشتری.

▪ مطابق با استاندارد RoHS

▪ ** پهنای باند جداسازی فعال پهنای باند جداسازی فرکانس پایین **

▪ حذف لرزش فعال یاهرتز ** عمدتا در باند فرکانس 0.6-6Hz

▪ طراحی انباشته

▪ ساختار نصب سخت فعال به جای تعلیق نرم، بدون انحراف فرکانس پایین، قطعات فعال متصل به بهار سفت

▪ بهار منفعل، رزونانس بار از سنسور STACIS را فیلتر می کند، تنظیم بسیار کمی مورد نیاز است، حتی بدون تنظیم ***

▪ به دلیل عدم تطابق امپدانس، قابل سازگاری با آیزولاتورهای داخلی ابزار

▪ بار تا 2000 کیلوگرم

▪ سیستم های عایق فعال در بازار **

عملکرد پلتفرم عایق فعال

آزمایش ارتعاش شبیه سازی با استفاده از VC-C (500 میکرو اینچ در ثانیه، 12.5 میکرو متر در ثانیه RMS) برای بار مفید 4500 پوند (2045 کیلوگرم)

مشخصات پلتفرم عایق فعال

مشخصات عملکرد

کاربران و کاربردهای STACIS

1- الکترونیک، نیمه هادی

▪ تشخیص تراشه

▪ تکنولوژی میکروگرافی

▪ کالیبراسیون ماسک

2- تحقیقات علمی، نانوفناوری

▪ SEM、TEM

▪ STEM、SPM

3- لیزر

▪ علوم زندگی، توسعه دارو

4- کاربردهای صنعتی

▪ پردازش دقیق

چرا سیستم عایق فعال را انتخاب کنیم؟

▪ از <1 هرتز شروع به حذف شدید لرزش زمین، پلتفرم پنوماتیک نمی تواند در این فرکانس پایین عایق موثر بازی کند

▪ افزایش کیفیت و تولید

▪ قابلیت تصویربرداری با ویژگی های کوچکتر

▪ تحقیقات پیشرو

▪ پایدارتر از پلتفرم های پنوماتیک

▪ راه حل ** برای برآورده کردن پارامترهای نصب استاندارد SEM

▪ هزینه های جدید آزمایشگاه ها و تجهیزات تحقیقاتی را کاهش می دهد

چرا سیستم عایق فعال STACIS را انتخاب کرد

▪ با توجه به قلب محققان، تا حد ممکن محیط بی لرزه را فراهم می کند.

▪ سیستم عایق فرکانس پایین قوی در بازار

▪ در حال حاضر تمام تولید کنندگان SEM نیاز به پارامترهای نصب را اعلام کرده اند و پارامترهای لرزش مورد نیاز آنها نیاز به سیستم عایق فعال لرزش دارند.

▪ STACIS** در دهه 1990 اختراع شد و توسط TMC هزاران سیستم عایق فعال را توسعه، توسعه و نصب کرد که یک راه حل قابل اعتماد برای کنترل عایق فعال است.

STACIS صدها برابر سخت تر از جداسازی پنوماتیک است

زمان ثبات به عنوان پاسخ به اختلال، به دلیل طراحی منحصر به فرد زنجیره ای، به طور قابل توجهی کوتاه می شود، ایده آل برای ساخت ماشین آلات، بار پویا، لیزر یا سطح جدی مستقل که نیاز به نصب منبع نور دارد.

مزایای زیر در صنعت **

▪ پهنای باند عایق فعال STACIS 0.6Hz تا 150Hz

▪ حذف لرزش فعال 6 درجه آزادی، 8-10dB در 1 هرتز

▪ از 2 تا 3 هرتز، عایق لرزش تا 90٪ (20dB)

تحقیقات حرفه ای محیط زیست

بررسی محیط زیست قبل و بعد از نصب، از جمله لرزش، میدان مغناطیسی، امواج صوتی

2- پس از نصب می توان گواهینامه سیستم محیط زیست را ارائه داد

▪ خدمات تحقیق محیط زیست کامل

▪ گزارش محیط زیست حرفه ای

▪ ارائه لرزش، میدان مغناطیسی، تشخیص امواج صوتی و راه حل ها

▪ TMC بر اساس تجربه گسترده خود به کاربران راه حل های عملی را توصیه می کند

▪ بیش از 40 سال تجربه در صنعت **

استفاده از عکس